光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？

时间：2018-05-16 09:54:52 关键词：步进,光刻,获得了

光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？

答案解析

增大了曝光场，可以获得较大的芯片尺寸，一次曝光可以多曝光些芯片，它还具有在整个扫描过程调节聚焦的能力。

举一反三
利用“发票管理/已开发票查询”功能菜单 进入到已开发票查询窗口后 可进行（）操作。
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在Windows98中 窗口最大化后不能进行的操作是（）。
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“发票导入”功能 可以将（）数据导入到本开票子系统中。
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企业无法利用“从IC卡读入新发票”功能进行读入新发票等业务操作 是因为（）。
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